特集 最近の絶縁材料・エレクトロニクスにおける絶縁材料

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J-GLOBAL ID：201002034112099799 整理番号：75A0266309

特集最近の絶縁材料・エレクトロニクスにおける絶縁材料

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資料名：
巻： 95 号： 5 ページ： 437-446 発行年： 1975年
JST資料番号： F0011A CODEN： DGZAA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

標題の問題を1)シリコン酸化膜を中心に半導体部品のパッシベー...

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引用文献 (4件)：

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