電子ビーム・レジストのエッジ・プロファイルのシミュレーション

NEUREUTHER A R; KYSER D F; TING C H

文献

J-GLOBAL ID：201002034913985243 整理番号：79A0259864

電子ビーム・レジストのエッジ・プロファイルのシミュレーション

Electron-beam resist edge profile simulation.

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著者 (3件)： , ,
資料名：
巻： 26 号： 4 ページ： 686-693 発行年： 1979年
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

数値シミュレーションによって,電子ビーム露光で作ったレジスト...

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