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J-GLOBAL ID:201002035121507057   整理番号:77A0285538

化学蒸着の基礎

The fundamentals of chemical vapour deposition.
著者 (1件):
資料名:
巻: 12  号:ページ: 1285-1306  発行年: 1977年 
JST資料番号: B0722A  ISSN: 0022-2461  CODEN: JMTSA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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化学蒸着過程の基礎を記述し,その応用例を与えた。その過程の最...
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