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J-GLOBAL ID：201002035121507057 整理番号：77A0285538
化学蒸着の基礎
The fundamentals of chemical vapour deposition.
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著者 (1件)：
BRYANT W A
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名寄せID(JGPN) 201550000264847306 ですべてを検索
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資料名：
J Mater Sci (Journal of Materials Science)
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JST資料番号 B0722A ですべてを検索
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巻：
12
号：
7
ページ：
1285-1306
発行年：
1977年
JST資料番号：
B0722A
ISSN：
0022-2461
CODEN：
JMTSA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
文献レビュー
発行国：
イギリス (GBR)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
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化学蒸着過程の基礎を記述し,その応用例を与えた。その過程の最...
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