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J-GLOBAL ID:201002036326865521 整理番号:79A0269296
シンクロトロン放射による薄膜の構造および組成の測定
Depth profiling of structure and/or composition on thin films by synchrotron radiation.
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著者 (2件):
EASTMAN D
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TU K N
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資料名:
IBM Tech Disclosure Bull (IBM Technical Disclosure Bulletin)
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巻:
22
号:
2
ページ:
848
発行年:
1979年
JST資料番号:
E0292B
ISSN:
0018-8689
CODEN:
IBMTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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強度の大きい平行連続X線ビームが薄膜試料に入射角δで入射する...
シソーラス用語:
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薄膜
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