電子線誘導吸着に関するコメント

NEAVE J H; JOYCE B A

文献

J-GLOBAL ID：201002037001369001 整理番号：77A0168593

電子線誘導吸着に関するコメント

Some comments on electron-beam-induced adsorption.

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資料名：
巻： 10 号： 2 ページ： 243-248,248(6) 発行年： 1977年
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

基板表面に電子ビームが照射されているときに吸着実験を行なうと...

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