文献

J-GLOBAL ID：201002037848839110   整理番号：77A0374313

Siへのチャネリング注入

著者 (3件)： 稲田つぐ夫 (富士通研究所) ,  桜井照夫 (富士通研究所) ,  西秀敏 (富士通研究所)
資料名： 電子通信学会技術研究報告  (電子情報通信学会技術研究報告)
巻： 77  号： 99  ページ： 45-50  発行年： 1977年 
JST資料番号： S0532B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 実験方法,チャネリング注入分布,面内均一度と再現性に関する検...

シソーラス用語： けい素 ,...

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タイトルに関連する用語 (3件)： Si ,  チャネリング ,  注入