文献

J-GLOBAL ID：201002040563864405   整理番号：78A0293821

シリコン集積回路における結晶欠陥 その原因と効果

Crystal defects in silicon integrated circuits - Their cause and effect.

著者 (1件)： MELLIAR-SMITH C M
資料名： Treatise Mater Sci Technol  (Treatise on Materials Science and Technology)
巻： 11  ページ： 47-149  発行年： 1977年 
JST資料番号： D0089B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積回路のためのシリコン結晶の品質が結晶育成中にいかに達成さ...

シソーラス用語： けい素 ,...

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タイトルに関連する用語 (4件)： シリコン ,  集積回路 ,  結晶欠陥 ,  原因