文献
J-GLOBAL ID：201002041139190832   整理番号：78A0261079

イオンビーム法によるAlN膜の直流反応性スパッタリング機構の研究

Study of the d.c. reactive sputtering mechanisms of Al N films by ion beam methods.
  • 出版者サイト 複写サービスで全文入手
  • 高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=78A0261079&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=K19770176") }}
著者 (4件)：
CACHARD A

CACHARD A について

, 
DUPIN J P

DUPIN J P について

, 
PIVOT J

PIVOT J について

, 
TARDY J

TARDY J について


資料名：
Int Vac Congr  (Proceedings. International Vacuum Congress 7th 770912 Vol.1-3)

Int Vac Congr について


巻： 7th  号： 2  ページ： 1245-1248  発行年： 1977年 
JST資料番号： K19770176  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： オーストリア (AUT)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
AlN膜の直流反応性スパッタリングを重水素照射核反応とラザフ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
スパッタリング法

スパッタリング法 について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=78A0261079&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=K19770176") }}
タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
イオンビーム

イオンビーム について

, 
AlN

AlN について

, 
直流

直流 について

, 
反応性スパッタリング

反応性スパッタリング について

, 
研究

研究 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM