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J-GLOBAL ID：201002042534291326   整理番号：80A0220078

Ta₂O₅膜におけるプール・フレンケル係数β_pfおよび伝導度の熱処理効果

Effect of heat treatment on the coefficient β_pf for the Poole-Frenkel effect and the conductivity in Ta₂O₅ films.

著者 (3件)： MATSUMOTO H (Meiji Univ., Kawasaki) ,  SUZUKI A (Meiji Univ., Kawasaki) ,  YABUMOTO T (Meiji Univ., Kawasaki)
資料名： Jpn J Appl Phys  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 19  号： 1  ページ： 71-77  発行年： 1980年 
JST資料番号： G0520A  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 陽極処理Ta₂O<sub>5</sub...

シソーラス用語： 酸化タンタル ,...

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引用文献 (10件)：

• 3) T. E. Hartman, J. C. Blair and R. Bayer: J. Appl. Phys. 37 (1966) 2468.
• 5) I. Leon Maissel and Reinhard Glang: Handbook of Thin Film Technology (McGraw-Hill, New York, 1970) p. 14.
• 6) C. J. Dell’Oca, D. L. Pulfrey and L. Young: Physics of Thin Films (Academic Press, New York, 1971) Vol. 6, p. 63.
• 8) J. R. Yeargan: J. Appl. Phys. 39 (1968) 5600.
• 10) P. L. Young: J. Appl. Phys. 47 (1976) 242.

タイトルに関連する用語 (5件)： Ta2O5 ,  係数 ,  PF ,  伝導度 ,  熱処理