文献

J-GLOBAL ID：201002042745396124   整理番号：78A0208655

サファイア上に中間スパッタされたZnO薄膜上の滑らかな表面をもつZnO単結晶膜の化学蒸着

Chemical vapor deposition of single-crystalline ZnO film with smooth surface on intermediately sputtered ZnO thin film on sapphire.

著者 (4件)： OHNISHI S ,  HIROKAWA Y ,  SHIOSAKI T ,  KAWABATA A
資料名： Jpn J Appl Phys  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 17  号： 5  ページ： 773-778  発行年： 1978年 
JST資料番号： G0520A  CODEN： JJAPA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CVD法によりサファイア基板上でエピタキシャル成長したZnO...

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=78A0208655&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520A") }}

引用文献 (19件)：

• 1) C. P. Sandbank and M. B. N. Butler: Electron. Letters 7 (1971) 499.
• 2) D. R. Evans, M. F. Lewis and E. Patterson: Electron. Letters 7 (1971) 557.
• 3) F. S. Hickernell: J. appl. Phys. 44 (1973) 1061.
• 4) T. Shiosaki and A. Kawabata: Appl. Phys. Letters 25 (1974) 10.
• 5) T. Shiosaki, E. Ieki and A. Kawabata: Appl. Phys. Letters 28 (1976) 475.

タイトルに関連する用語 (6件)： サファイア ,  スパッタ ,  ZnO薄膜 ,  ZnO ,  単結晶膜 ,  化学蒸着