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J-GLOBAL ID：201002043270485000   整理番号：78A0261130

液体窒素温度でのCu-Ni合金のスパッタ表面上の変質層の形成

Formation of altered layer on the sputtered surfaces of Cu-Ni alloy at liquid nitrogen temperature.
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SAEKI N

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SHIMIZU R

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資料名：
Int Vac Congr  (Proceedings. International Vacuum Congress 7th 770912 Vol.1-3)

Int Vac Congr について


巻： 7th  号： 2  ページ： 1489-1492  発行年： 1977年 
JST資料番号： K19770176  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： オーストリア (AUT)  言語： 英語 (EN)
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