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J-GLOBAL ID：201002045446775380   整理番号：77A0221958

感湿素子の試作

著者 (5件)： 高橋こう太郎 ,  小林茂 ,  宮島良一 ,  吉田裕道 ,  三上和正
資料名： 東京都立工業技術センター研究報告  (Report of Tokyo Metropolitan Industrial Technology Center)
号： 6  ページ： 51-56  発行年： 1977年 
JST資料番号： S0759A  ISSN： 0285-6670  CODEN： TKGHDT  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 薄膜IC技術を応用し,基板上にくし形電極を構成し,素子材料に...

シソーラス用語： 感湿素子 ,...

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タイトルに関連する用語 (2件)： 感湿素子 ,  試作