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J-GLOBAL ID：201002046654338577   整理番号：80A0077987

VLSIのためのアルミニウム及びアルミニウム合金の蒸着

Aluminum and aluminum alloy sputter deposition for VLSI.
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著者 (2件)：
HARTSOUGH L D

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(Perkin-Elmer, California)

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DENISON D R

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(Perkin-Elmer, California)

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資料名：
Solid State Technol  (Semiconductor Products)

Solid State Technol について


巻： 22  号： 12  ページ： 66-72  発行年： 1979年 
JST資料番号： E0226A  ISSN： 0038-111X  CODEN： SSTEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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純粋なAl及びAl-Si,Al-Cu,Al-Si-Cu,Al...
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LSI

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