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J-GLOBAL ID:201002047127180597 整理番号:79A0243738
ウェハ保存用ゲッタリング容器
Getter wafer storage box.
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著者 (1件):
MARTIN R W
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名寄せID(JGPN) 201550000165753880 ですべてを検索
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資料名:
IBM Tech Disclosure Bull (IBM Technical Disclosure Bulletin)
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巻:
22
号:
1
ページ:
119
発行年:
1979年
JST資料番号:
E0292B
ISSN:
0018-8689
CODEN:
IBMTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
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ウェハ保存容器の内部またはその容器表面から発生する有機性ガス...
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