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J-GLOBAL ID：201002047568113585   整理番号：79A0080722

サブナノメータ精度で圧電効果により50μm程度変位させるステージ

Piezodriven 50-μm range stage with subnanometer resolution.
著者 (2件)：
SCIRE F E

SCIRE F E について

, 
TEAGUE E C

TEAGUE E C について


資料名：
Rev Sci Instrum  (Review of Scientific Instruments)

Rev Sci Instrum について


巻： 49  号： 12  ページ： 1735-1740  発行年： 1978年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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光学また顕微鏡または電子顕微鏡を用いて,微細線の精密測定をす...
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精密測定

精密測定 について

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変位

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