感光性ポリマ  ポリイミド画像への直接法

RUBNER R; AHNE H; KUEHN E; KOLODZIEJ G

文献

J-GLOBAL ID：201002047833439943 整理番号：79A0337346

感光性ポリマポリイミド画像への直接法

A photopolymer - The direct way to polyimide patterns.

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資料名：
巻： 23 号： 5 ページ： 303-309 発行年： 1979年
JST資料番号： D0429A ISSN： 0031-8760 CODEN： PSENA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

メタクリル基を有するポリイミドプレカーサを研究。フォトレジス...

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