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J-GLOBAL ID:201002052595921468   整理番号:78A0122950

酸化物薄膜表面での低エネルギー不活性ガスイオンの捕獲

Capture of low-energy inert-gas ions at the surface of an oxide film.
著者 (3件):
資料名:
巻:号: 12  ページ: 449  発行年: 1977年 
JST資料番号: H0665A  ISSN: 0360-120X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ZnO薄膜をArイオン照射した後,150°Cまで真空中加熱し...
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