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J-GLOBAL ID：201002053479133459   整理番号：76A0172812

マイクロプローブ用の電界イオン源の研究

Study of a field-ionization source for microprobe applications.
著者 (2件)：
ORLOFF J H

ORLOFF J H について

, 
SWANSON L W

SWANSON L W について


資料名：
J Vac Sci Technol  (Journal of Vacuum Science & Technology)

J Vac Sci Technol について


巻： 12  号： 6  ページ： 1209-1213  発行年： 1975年 
JST資料番号： C0789A  ISSN： 0022-5355  CODEN： JVSTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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電界イオン源はサブミクロンのビームスポットに対しては他の方法...
シソーラス用語：
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イオンプローブ

イオンプローブ について

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電界イオン化

電界イオン化 について


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タイトルに関連する用語 (4件)：
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電界

電界 について

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イオン源

イオン源 について

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研究

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