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J-GLOBAL ID：201002053638230827 整理番号：77A0288794

SiH₄-CF₄混合物におけるイオンと分子の反応

Ion-molecule reactions in SiH₄-CF₄ mixtures.

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資料名：
巻： 81 号： 4 ページ： 281-286 発行年： 1977年
JST資料番号： C0334A ISSN： 0022-3654 CODEN： JPCHA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Si⁺,SiH⁺...

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