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J-GLOBAL ID:201002054326990383 整理番号:77A0106341
走査電子顕微鏡による半導体抵抗率の二次元プロット
Two dimensional plotting of semiconductor resistivity by scanning electron microscope.
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著者 (2件):
KAMM J D
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資料名:
Solid-State Electron (Solid-State Electronics)
Solid-State Electron について
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巻:
20
号:
2
ページ:
105-106,106(1),107-110
発行年:
1977年
JST資料番号:
H0225A
ISSN:
0038-1101
CODEN:
SSELA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)
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プローブとして走査電子顕微鏡の電子ビームを用いた半導体試料の...
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