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J-GLOBAL ID：201002054923491134   整理番号：77A0335406

タンタル蒸着膜の蒸着パラメータ,構造および電気的性質

Deposition parameters, structure and electrical properties of evaporated tantalum films.

著者 (2件)： NEAL W E J ,  AGUADO BOMBIN R M
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 44  号： 2  ページ： 169-183  発行年： 1977年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  CODEN： THSFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 残留ガス圧1×10^-8台,基板温度35...

シソーラス用語： タンタル ,...

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タイトルに関連する用語 (5件)： タンタル ,  蒸着膜 ,  蒸着 ,  パラメータ ,  電気的性質