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J-GLOBAL ID：201002055630930008   整理番号：77A0321793

チョクラルスキーSiウエーハの格子間酸素ゲッタリング

Interstitial oxygen gettering in Czochralski silicon wafers.
著者 (2件)：
ROZGONYI G A

ROZGONYI G A について

, 
PEARCE C W

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資料名：
Appl Phys Lett  (Applied Physics Letters)

Appl Phys Lett について


巻： 31  号： 5  ページ： 343-345  発行年： 1977年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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