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J-GLOBAL ID:201002059150024452 整理番号:80A0046821
LSI試験用不良解析装置
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著者 (2件):
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資料名:
電子通信学会技術研究報告 (電子情報通信学会技術研究報告)
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巻:
79
号:
168
ページ:
41-48(SSD79-60)
発行年:
1979年
JST資料番号:
S0532B
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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LSI技術の発展に伴い不良原因を診断解析を行う高度な不良解析...
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