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J-GLOBAL ID：201002060266751511   整理番号：78A0153514

混成集積回路パッケージの中に封じこんだAl2O3湿度検出素子の特性

Performance characteristics of Al2O3 moisture sensor inside sealed hybrid packages.
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著者 (1件)：
KOVAC M G

KOVAC M G について


資料名：
Int Microelectron Symp  (International Hybrid Microelectronics Symposium)

Int Microelectron Symp について


巻： 1977  ページ： 249-252  発行年： 1977年 
JST資料番号： A0946B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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パッケージ中の水分は集積回路を破損する。湿度検出素子はAl電...
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混成集積回路

混成集積回路 について

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Al2O3

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