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J-GLOBAL ID：201002061289389611   整理番号：78A0031776

酸素量規定した湿度制御ふん囲気中でのPbトンネル障壁の酸化

Oxidation of lead tunnel barriers in a humidity-controlled oxygen-regulated atmosphere.

著者 (1件)： GARNO J P
資料名： J Appl Phys  (Journal of Applied Physics)
巻： 48  号： 11  ページ： 4627-4629  発行年： 1977年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱酸化法で,高品質で再現性のよいPb酸化物トンネル障壁を作っ...

シソーラス用語： トンネル接合 ,...

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タイトルに関連する用語 (7件)： 酸素量 ,  規定 ,  湿度制御 ,  ふん囲気 ,  Pb ,  トンネル障壁 ,  酸化