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J-GLOBAL ID：201002062011414166   整理番号：77A0386304

半導体検査のための複屈折法

Birefringence method for examining semiconductors.
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MATTHEWS J W

MATTHEWS J W について

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PLASKETT T S

PLASKETT T S について


資料名：
IBM Tech Disclosure Bull  (IBM Technical Disclosure Bulletin)

IBM Tech Disclosure Bull について


巻： 20  号： 2  ページ： 777-778  発行年： 1977年 
JST資料番号： E0292B  ISSN： 0018-8689  CODEN： IBMTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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半導体の転位を複屈折法を使って非破壊検査する方法を述べた。こ...
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半導体

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複屈折

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