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J-GLOBAL ID：201002062432680558   整理番号：78A0261125

収集された粒子のRBS解析により測定されたスパッタ粒子の角度分布

The angular distribution of sputtered particles measured by RBS analysis of the collected particles.
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著者 (2件)：
EMMOTH B

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BRAUN M

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資料名：
Int Vac Congr  (Proceedings. International Vacuum Congress 7th 770912 Vol.1-3)

Int Vac Congr について


巻： 7th  号： 2  ページ： 1465-1467  発行年： 1977年 
JST資料番号： K19770176  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： オーストリア (AUT)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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スパッタ多結晶AgとWの角度分布を測定。イオンビームは15-...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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スパッタ

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