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J-GLOBAL ID：201002063674732532   整理番号：78A0074962

超小形電子装置製造において技術過程のパラメータを測定し制御する,複雑な一般的装置

Universal apparatus complex for measuring and controlling the parameters of technology processes in producing microelectronic devices.
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著者 (4件)：
CHERNJAEV V N

CHERNJAEV V N について

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OBICHKIN G G

OBICHKIN G G について

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GLUDKIN O P

GLUDKIN O P について

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EPANESH J K

EPANESH J K について


資料名：
IMEKO Congr Int Meas Confed  (Practical Measurement for Improving Efficiency Vol.1-3)

IMEKO Congr Int Meas Confed について


巻： 7th  号： 3  ページ： 175-182  発行年： 1977年 
JST資料番号： K19760212  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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集積回路の製造過程で,誘電体物質や半導体物質の蒸着速度と生じ...
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超小形回路技術

超小形回路技術 について

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超小形

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電子装置製造

電子装置製造 について

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過程

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パラメータ

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