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J-GLOBAL ID：201002065734994038   整理番号：77A0005010

特集:ここまで来た4インチウェハ時代

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著者 (7件)：
三浦義男

三浦義男 について

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宮本信雄

宮本信雄 について

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新保雅文

新保雅文 について

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村岡久志

村岡久志 について

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岩淵真三郎

岩淵真三郎 について

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柳川隆ゆき

柳川隆ゆき について

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森岡国男

森岡国男 について


資料名：
電子材料  (Electronic Parts and Materials)

電子材料 について


巻： 15  号： 10  ページ： 21-69  発行年： 1976年 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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ウェハの大口径化の一環として,すでに4in(100mm)ウェ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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ウェハ【IC】

ウェハ【IC】 について

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