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J-GLOBAL ID:201002066588818849 整理番号:79A0060743
機械式超高真空ポンプの設計 ターボ分子ポンプ
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著者 (1件):
沢田雅
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資料名:
設計製図 (設計・製図)
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巻:
13
号:
67
ページ:
3291-3297
発行年:
1979年
JST資料番号:
S0898A
ISSN:
0386-7935
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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