薄膜の工業的生産におけるイオンプレーティング

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J-GLOBAL ID：201002067516673176 整理番号：78A0257897

Ion plating in industrial thin film production.

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資料名：
巻： 7th 号： 2 ページ： 1595-1598 発行年： 1977年
JST資料番号： K19770176 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：オーストリア (AUT) 言語：英語 (EN)

工業用の標準イオンプレーティング装置 BALZERS BA ...

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