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J-GLOBAL ID：201002069137024694   整理番号：77A0282041

反応性イオン・エッチングの終点検出

End-point detection for reactive ion etching.
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著者 (1件)：
GEIPEL H J

GEIPEL H J について


資料名：
IBM Tech Disclosure Bull  (IBM Technical Disclosure Bulletin)

IBM Tech Disclosure Bull について


巻： 20  号： 2  ページ： 541-542  発行年： 1977年 
JST資料番号： E0292B  ISSN： 0018-8689  CODEN： IBMTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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反応性イオン・エッチングの間に,半導体ダイオードの表面上の二...
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ダイオード

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