シリコンウエーハのそり

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J-GLOBAL ID：201002070192654298 整理番号：80A0036633

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 49 号： 1 ページ： 83-89 発行年： 1980年
JST資料番号： F0252A ISSN： 0369-8009 CODEN： OYBSA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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引用文献 (11件)：

1) 高須新一郎;応用物理 45 (1976) 1103.
2) 井入正博,古川章彦:応用物理 46 (1977) 1211.
3) Pei Wang: Semiconductor Silicon 1977 (Electrochemical Society, Princeton, 1977) p. 170.
4) Shin. Takasu and Y. Matsushita: Proc. 6th Conf. Solid State Devices, Tokyo, 1974, J. Jpn. Soc. Appl. Phys.44 (1975) Suppl. p. 259.
5) 高須新一郎,井出川洋,大塚英雄:東芝レビュー 28 (1973) 1438.

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