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J-GLOBAL ID:201002070245733950 整理番号:77A0283713
陽極酸化によるアルミニウム マルチチップ技術に用いる基板材料
Anodisch oxidiertes Aluminium - Substratmaterial fuer die Multichiptechnik.
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著者 (1件):
PFEIFER H-J
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資料名:
Feingeraetetechnik (Feingeraetetechnik)
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巻:
26
号:
3
ページ:
119-123
発行年:
1977年
JST資料番号:
B0526A
ISSN:
0014-9683
CODEN:
FGRTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
東ドイツ (DDR)
言語:
ドイツ語 (DE)
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