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J-GLOBAL ID:201002072224934584 整理番号:79A0286657
粉末ターゲットからのr.f.スパッタリングによるサーメット薄膜の生成
The deposition of cermet films from a powder target by R.F. sputtering.
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著者 (1件):
OJHA S M
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名寄せID(JGPN) 201550000275798889 ですべてを検索
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資料名:
Thin Solid Films (Thin Solid Films)
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JST資料番号 B0899A ですべてを検索
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巻:
57
号:
2
ページ:
363-366
発行年:
1979年
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
CODEN:
THSFA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)
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