走査電子ビームシステムで集積回路ウエハを迅速に生産

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J-GLOBAL ID：201002074490036020 整理番号：78A0020065

Scanning electron-beam system turns out IC wafers fast.

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資料名：
巻： 50 号： 23 ページ： 96-101 発行年： 1977年
JST資料番号： B0455B ISSN： 0013-5070 CODEN： ELECA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

IBM社East Fishkill Lab.の製造ラインでバ...

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