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J-GLOBAL ID:201002075203403731 整理番号:78A0090532
円管被覆用直流反応性スパッタリング装置の改善
Improvements in a dc reactive sputtering system for coating tubes.
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資料名:
J Vac Sci Technol (Journal of Vacuum Science & Technology)
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巻:
14
号:
6
ページ:
1313-1315
発行年:
1977年
JST資料番号:
C0789A
ISSN:
0022-5355
CODEN:
JVSTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
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