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J-GLOBAL ID:201002075773471501 整理番号:77A0045548
CVDの現状と将来
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著者 (2件):
高橋武彦
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伊藤秀章
伊藤秀章 について
名寄せID(JGPN) 201550000221208172 ですべてを検索
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資料名:
金属材料
金属材料 について
JST資料番号 F0404A ですべてを検索
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巻:
16
号:
12
ページ:
10-15
発行年:
1976年
JST資料番号:
F0404A
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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気相めっきには物理蒸着(PVD)と化学蒸着(CVD)および活...
シソーラス用語:
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気相めっき
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CVD
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