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J-GLOBAL ID：201002077612423852   整理番号：78A0154935

マスクパタン検査の一方式

著者 (4件)： 後藤宣ゆき (東芝総研) ,  近藤隆志 (東芝総研) ,  市川公久 (東芝総研) ,  金本光雄 (東芝総研)
資料名： テレビジョン学会技術報告  (映像情報メディア学会技術報告)
巻： 1  号： 3  ページ： 53-58  発行年： 1977年 
JST資料番号： S0209A  ISSN： 0386-4227  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 検査方式(方式比較,検査方式概要,部分特徴抽出,水平・垂直方...

シソーラス用語： フォトエッチング ,...

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タイトルに関連する用語 (2件)： マスクパタン ,  検査