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J-GLOBAL ID:201002077666316369   整理番号:77A0356846

半導体エピタキシャル構造における原子拡散

Atomic diffusion in semiconductor epitaxial structures.
著者 (1件):
資料名:
巻: 42  号:ページ: 11-45  発行年: 1977年 
JST資料番号: D0774A  ISSN: 0031-8965  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: 東ドイツ (DDR)  言語: 英語 (EN)
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エピタキシャル法は同じ材料の基板(ホモ構造)および化学的に異...
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