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J-GLOBAL ID:201002079402236319 整理番号:79A0166744
特集:超LSI 膜形成技術
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著者 (2件):
松倉保夫
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資料名:
電子通信学会誌 (電気通信学会雑誌)
電子通信学会誌 について
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巻:
62
号:
4
ページ:
416-420
発行年:
1979年
JST資料番号:
F0019A
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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超LSIとの関連も含めて,半導体集積回路における膜形成技術を...
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