半導体の熱的解析に対する走査赤外顕微鏡技術

文献

J-GLOBAL ID：201002080139520064 整理番号：80A0019910

Scanning infrared microscopy techniques for semiconductor thermal analysis.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 17th ページ： 183-189 発行年： 1979年
JST資料番号： A0631A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記技術を用いて半導体素子の熱的特性を解析した。ガラス・ダイ...

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