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J-GLOBAL ID:201002082473934670 整理番号:78A0087779
フォトレジスト・ネガフィルムにおける屈折率と表面の同時変調
Index and surface simultaneous modulation in negative photoresist films.
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著者 (2件):
FREJLICH J
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資料名:
J Opt Soc Am (Journal of the Optical Society of America)
J Opt Soc Am について
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巻:
67
号:
12
ページ:
1644-1650
発行年:
1977年
JST資料番号:
C0327A
ISSN:
0030-3941
CODEN:
JOSAA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
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分子拡散によりネガのフォトレジストに屈折率変調効果を起こすこ...
シソーラス用語:
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