化学処理後のp型Si表面の電気的挙動を説明するモデル

VIEWEG-GUTBERLET F G; SIEGESLEITNER P F

文献

J-GLOBAL ID：201002082906701927 整理番号：80A0149308

化学処理後のp型Si表面の電気的挙動を説明するモデル

A model to explain the electrical behavior of p-type silicon surfaces after a chemical treatment.

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資料名：
巻： 126 号： 10 ページ： 1792-1794 発行年： 1979年
JST資料番号： C0285A ISSN： 0013-4651 CODEN： JESOA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

p型Siウエハの電気測定前の化学前処理で,しばしば測定が不安...

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