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J-GLOBAL ID：201002086204635026   整理番号：79A0339508

赤外反射分光による絶縁性薄膜の膜厚測定

IR-Reflexionsspektroskopie zur Dickenmessung an duennen Isolatorschichten.
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著者 (2件)：
HINZE D

HINZE D について

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LEIMBROCK W

LEIMBROCK W について


資料名：
Exp Tech Phys  (Experimentelle Technik der Physik)

Exp Tech Phys について


巻： 27  号： 2  ページ： 173-175  発行年： 1979年 
JST資料番号： B0497A  ISSN： 0014-4924  CODEN： EXPPA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 東ドイツ (DDR)  言語： ドイツ語 (DE)
抄録/ポイント：
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膜とは屈折率が異なる基板上に形成された絶縁性薄膜の960cm...
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薄膜

薄膜 について

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赤外反射

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分光

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絶縁性薄膜

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膜厚測定

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