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J-GLOBAL ID:201002086969850910 整理番号:79A0335886
高精度空気軸受回転軸の開発の歴史とその応用例
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著者 (1件):
小林昭
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資料名:
精密機械 (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
精密機械 について
JST資料番号 F0268A ですべてを検索
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巻:
45
号:
10
ページ:
1159-1167
発行年:
1979年
JST資料番号:
F0268A
ISSN:
0374-3543
CODEN:
SEKIA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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レーザ反射鏡製作や,半導体材料加工の分野などでは高精密空気軸...
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