文献

J-GLOBAL ID：201002087483126574   整理番号：77A0368940

導電性薄膜の熱時効変化の膜厚による違い

Thickness dependent effects of thermal ageing in thin conductive films.

著者 (3件)： TOSSER A J ,  TELLIER C R ,  LAUNEY J
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 27  号： 4  ページ： 335-338  発行年： 1977年 
JST資料番号： E0347A  CODEN： VACUA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： dcあるいはrfスパッタ法で作った110〜900Å厚のAl膜...

シソーラス用語： 電気抵抗 ,...

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タイトルに関連する用語 (3件)： 導電性薄膜 ,  熱時効 ,  膜厚