文献
J-GLOBAL ID：201002089099596205   整理番号：77A0381820

電子ビームマスク合わせ系における感光性樹脂膜厚さに対するフィルタ整合

Resist thickness filter matching in E-beam registration system.
  • 出版者サイト 複写サービスで全文入手
  • 高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=77A0381820&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0292B") }}
著者 (3件)：
DAVIS D E

DAVIS D E について

, 
DORAN S K

DORAN S K について

, 
WILLIAMS M C

WILLIAMS M C について


資料名：
IBM Tech Disclosure Bull  (IBM Technical Disclosure Bulletin)

IBM Tech Disclosure Bull について


巻： 20  号： 1  ページ： 152  発行年： 1977年 
JST資料番号： E0292B  ISSN： 0018-8689  CODEN： IBMTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
電子ビームマスク合わせ系で,感光性樹脂が薄い場合,後方散乱信...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
マスク

マスク について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
リソグラフィ

リソグラフィ について


   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=77A0381820&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0292B") }}
タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
電子ビーム

電子ビーム について

, 
マスク

マスク について

, 
感光性樹脂膜

感光性樹脂膜 について

, 
厚さ

厚さ について

, 
整合

整合 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM