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J-GLOBAL ID：201002090264729647   整理番号：77A0364199

イオンエッチング法による多重層ヘテロ構造薄膜の調製

Приготовление тонких фольг из многослойных гетероструктур методом ионного травления.
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著者 (2件)：
ВДОВИН В И

ВДОВИН В И について

, 
МОРГУЛИС Л М

МОРГУЛИС Л М について


資料名：
Izv Akad Nauk SSSR Fiz  (Izvestiya Akademii Nauk SSSR. Seriya Fizicheskaya)

Izv Akad Nauk SSSR Fiz について


巻： 41  号： 7  ページ： 1478-1482  発行年： 1977年 
JST資料番号： R0045A  CODEN： IANFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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多重層ヘテロ構造の成長面に垂直に薄膜を切断して電子顕微鏡検査...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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ヘテロ接合

ヘテロ接合 について

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タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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イオンエッチング法

イオンエッチング法 について

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多重層

多重層 について

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ヘテロ構造

ヘテロ構造 について

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薄膜

薄膜 について

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調製

調製 について


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