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J-GLOBAL ID：201002090320637211   整理番号：79A0338896

活性化反応性蒸着法とその応用

Activated reactive evaporation process and its applications.
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著者 (1件)：
BUNSHAH R F

BUNSHAH R F について


資料名：
Conf Ion Plat Allied Tech  (Proceedings Conference on Ion Plating and Allied Techniques 1 770600)

Conf Ion Plat Allied Tech について


巻： 1st  ページ： 207-222  発行年： 1977年 
JST資料番号： K19770505  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
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AREと呼ぶ題記手法は高融点化合物の析出に適する高速のPVD...
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真空蒸着

真空蒸着 について

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活性化反応性蒸着法

活性化反応性蒸着法 について

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応用

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